单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,椭偏光谱测量及研究进展,目 录,光的偏振及其应用,椭偏光谱学简介,固体材料光学性质与光学常数关系,可见,-,近红外偏振手段应用以及数据处理,椭偏光谱研究进展,光的偏振及其应用,太阳、电灯等普通光源发出的光，包含着在垂直于传播方向上沿一切方向振动的光，而且沿着各个方向振动的光波的强度都相同这种光叫做,自然光,.,光的偏振及其应用,在光波里，可引起人的视觉的是,E,矢量（光矢量）。,v,0,H,E,光矢量,振动面,通常看到的绝大多数光,-,偏振光,光的偏振及其应用,偏光镜头,汽车车灯,立体电影,光的偏振及其应用,液晶显示,(LCD),是一个由上下两片导电玻制成的液晶盒，盒内充有液晶，四周用密封材料,胶框密封，盒的两个外侧贴有偏光片。在上下两片栅栏相互垂直的偏光板之间充满液晶，利用电场控制液晶的转动,不同的电场大小就会形成不同的灰阶亮度,光的偏振及其应用,红外偏振光治疗仪,将,0.6m-1.6m,特定波长的光波（医学上称为人体投射窗口），经过偏振系统处理后产生红外偏振光（偏振度达,91%,），通过不同功能的治疗头（透镜组）和电脑控制，将红外偏振光渗透于神经根、神经干、神经节、经络穴位和痛点，显著改善血液循环，使人体的亚健康状态调整到健康水平。,光的偏振及其应用,椭偏光谱学简介,固体材料光学性质与光学常数关系,可见,-,近红外偏振手段应用以及数据处理,椭偏光谱研究进展,椭偏光谱学简介,椭圆偏振光谱学（,Spectroscopic Ellipsometry,）。,是利用光的偏振特性，在光的反射和折射定律基础上对光学固体材料的光学结构和性质进行测量、分析、研究的一门科学。其特点是通过测量偏振光与固体材料相互作用后的振幅和相位变化，可以得到有关材料光学常数等各种信息，如吸收系数、反射率、复折射率和复介电常数等。,椭偏测量的发展,1823,年，菲涅尔推导出著名的菲涅尔公式,1863-1906,年，,Drude,教授最先开展椭偏光谱研究，推导出测量计算基本公式,1945,年，消光式椭偏测量方法,动态光度式椭偏测量方法,旋转检偏器,旋转起偏器,相位调制型,RPSE,实时在线椭偏光谱仪,电磁光波,电场和磁场混合组成,典型的椭圆偏振光仅考虑电场,（,E-fields,）,.,Y,Z,Electric field,E(z,t),Magnetic field,B(z,t),用垂直座标中的,2,束分量光的重叠状态来表述。,线偏振光,两束光相位相同,.,圆偏振光,相位相差,90,振幅相同,.,椭圆偏振光,相位、振幅都不同,X,Y,wave1,wave2,E,Z,椭圆偏振光,椭偏测量物理依据,I,入射光在界面发生反射或者折射时，其反射波和透射波偏振态会改变。这种变化的原因在于,:P,光和,S,线偏振光有不同的菲涅尔反射或透射系数。,r,为反射波的电矢量与入射波的电矢量之比，,为经过反射后电矢量产生的相移。其中,s,和,p,表示垂直（,S,）和平行（,P,）入射面两个分量。,椭偏测量物理依据,II,和,分别反映了光与物质相互作用后，,P,和,S,振动分量的振幅和相位发生的变化，,不仅,依赖于被研究材料的光学性质，还依赖于实验条件，如入射光的波长和入射角、样品表面的粗糙度等条件,。最后椭偏参数与所需确定的光学常数之间的联系还依赖于材料的结构和所采用的反射式光学系统的模型。,椭偏测量：,测量光强转化为偏振,P0,为固定起偏器，,P,和,A,为可旋转的起偏器和检偏器，初始偏振方向沿,S,方向。,A,的转速是,P,的两倍，光入射面与,S,方向垂直,椭偏仪实际测量的是什么呢？,光强,椭偏设备和光谱仪原理是一样的，通过光强转化为偏振数据,16,测量偏振光经表面反射后偏振态的变化。,(,Y,and,).,非破坏性测量技术,可以测量薄膜的折射率等光学常数和膜厚。,椭偏测量特点,光强 椭偏参数 复介电常数 其他光学常数,光的偏振及其应用,椭偏光谱学简介,固体材料光学性质与光学常数关系,可见,-,近红外偏振手段应用以及数据处理,椭偏光谱研究进展,固体材料光学性质与光学常数关系,材料的宏观光学性质：折射率,n,和消光系数,k,(,)=n(,)+ik(,),对于吸收介质，光的强度,I(x),在固体中随距离,x,和时间,t,传播时按以下形式衰减：,I(x)=|E(x,t)|,2,=I(0)e,-ax,上式中，,a,为吸收系数，它的物理意义为：当光波的透入距离,x=d,1,=1/a=,0,/4k,光的强度衰减到原来的,1/e,，通常,d,1,称为透入深度。,a=4k,/,0,(,材料吸收特性与消光系数关系,),光学常数之间关系,材料复折射率：,上式中复介电常数 定义为：,表征了固体宏观光学性质的不同光学常数之间的关系,Kramers-Kronig,关系,实部和虚部互相关联,实部,1,和虚部,2,之间存在下述,K-K,关系。,Frequency(energy),n,k,e,1,e,2,色散曲线,Lorentz,近似,正常色散,反常色散,正常色散,反常色散,0,n,0,R,1,金属反射区,金属的反射率,Ag,Au,Cu,Ge,Si,300,400,500,600,700,800,900,0.0,0.1,0.2,0.3,0.4,0.5,0.6,0.7,0.8,0.9,1.0,反射率,R,波长,(nm),金属银呈现白色,铜和金呈现黄色,光的偏振及其应用,椭偏光谱学简介,固体材料光学性质与光学常数关系,可见,-,近红外偏振手段应用以及数据处理,椭偏光谱研究进展,VASE-32,椭偏仪及其数据处理,光的偏振及其应用,椭偏光谱学简介,固体材料光学性质与光学常数关系,可见,-,近红外偏振手段应用以及数据处理,椭偏光谱研究进展,研究进展,I,：多层介质膜椭偏研究,基底光学常数确定。,多层膜光学常数确定。,首先假定其为单层膜，根据这一物理结构，拟和得到的结果如下图 所示。拟和与实测值偏差很大，趋势也不相同，在,400,650 nm,范围内，两者比较吻合，而在紫外及红外区，拟和与测试相差很大，如在波长,1 650nm,处，,和,的拟和与实测值分别达到了,18,和,60,的偏差。这可能是由于色散关系不正确，也可能是物理结构不合理造成的。通过反复尝试色散关系以及薄膜的厚度、折射率初值，始终无法得到理想的结果，由此断定该未知薄膜不是单层结构。,研究进展,I,：多层介质膜椭偏研究,研究进展,II:,蒸发速率对,ITO,光学常数影响,ITO,具有复杂的吸收机制和微观结构,制备工艺和退火条件,也会对它的光学性质造成影响。因此长期以来都无法准确测,量,ITO,薄膜的光学常数。,随着蒸发速率的提高,ITO,薄膜的载流子浓度随之减小,而折射率随之增大,符合折射率随载流子浓度的变化关系。,研究进展,III,：椭偏和光度法联用,吸收薄膜椭偏法拟合出现光学常数关联性的根本原因，在于未知参数的数量大于方程数，椭偏方程无惟一解，这直接导致了一定范围内不同的,d,，,n,，,k,组合都可产生较好的拟合结果，从而使结果离散性大,.,要解决这一问题，可以从两方面入手,:,第一，减少未知数,.,第二，增加方程的数量，提供更多的限定条件,.,采用多入射角虽然得到了更多数据，但往往不能提供新的限定条件，它所起的作用通常是减小实验误差，验证拟合结果的正确性。,拟合具体过程如下,:,首先将分光光度计测得的透射率,T,转换成,WVASE32,软件的数据格式，将其与,和,同时设为拟合参数,.,称之为,SE+T,方法。,