,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,原子力显微镜,Atomic Force Microscope,品质治理部信任性治理科,分析解析室,顾方晗,目 录,显微镜的进展史,原子力显微镜的原理,构造,工作模式,应用,显微镜的进展历史,光学显微镜,透射电子显微镜,扫描隧道显微镜,扫描电子显微镜,原子力显微镜,光学显微镜,16世纪末，荷兰的眼镜商Zaccharias Janssen,第一台复合式显微镜，倍数太低,透射电子显微镜TEM,1938年，德国工程师 Max Knoll和Ernst Ruska制造出了世界上第一台透射电子显微镜TEM。,扫描电子显微镜SEM,1952年，英国工程师Charles Oatley制造出了第一台扫描电子显微镜SEM。,扫描隧道显微镜STM,1983年，IBM公司苏黎世试验室的两位科学家Gerd Binnig和Heinrich Rohrer制造了扫描隧道显微镜STM。,STM的原理是电子的“隧道效应”，所以只能测导体和局部半导体。,原子力显微镜AFM,1985年，IBM公司的Binning和Stanford大学的Quate研发出了原子力显微镜AFM，弥补了STM的缺乏，可以用来测量任何样品的外表。,AFM的原理,AFM是在STM的根底上进展起来的一种显微技术。那么，首先我们先来了解下STM的工作原理。,STM是利用原子间的隧道效应进展测量的。,隧道效应,经典物理学认为，物体越过势垒，有一阈值能量；粒子能量小于此能量则不能越过，大于此能量则可以越过。例如骑自行车过小坡，先用力骑，假设坡很低，不蹬自行车也能靠惯性过去。假设坡很高，不蹬自行车，车到一半就停住，然后退回去。,量子力学则认为，即使粒子能量小于阈值能量，很多粒子冲向势垒，一局部粒子反弹，还会有一些粒子能过去，似乎有一个隧道，故名隧道效应。就像在山坡上开一隧道，自行车从中穿过一样。可见，宏观上确实定性在微观上往往就具有不确定性。虽然在通常的状况下，隧道效应并不影响经典的宏观效应，由于隧穿几率微小，但在某些特丁的条件下宏观的隧道效应也会消失。,STM就是依据这种效应制成的。当针尖和样品面间距足够小时0.4nm，在针尖和样品间施加一偏置电压，便会产生隧道效应，电子会穿过势垒，在针尖和样品间流淌，形成隧道电流。在一样的偏置电压下，电流强度对针尖和样品间的距离特别敏感，隧道电流随间距呈指数变化，样品外表的形貌影响着隧道电流的猛烈变化，这种电流变化有计算机进展处理就可以的到样品外表的形貌了。,STM的构造与工作过程,带电极的压电管（根据隧道电流的的大小随时调整针尖和样品的距离，以保持隧道电流的恒定）,压电管控制电压,隧道电流放大器,距离控制和扫描单元,隧道电压（用以产生隧道效应）,数据处理及显示,AFM的根本原理,AFM是在STM的根底上进展起来的。所不同的是，它不是利用电子隧道效应，而是利用原子之间的范德华力Van Der Waals Force作用来呈现样品的外表特性。,假设两个原子中，一个是在悬臂的探针尖端，另一个是在样本的外表，它们之间的作用力会随距离的转变而变化，其作用力与距离的关系如右图所示，当原子与原子很接近时，彼此电子云斥力的作用大于原子核与电子云之间的吸引力作用，所以整个合力表现为斥力的作用，反之假设两原子分开有肯定距离时，其电子云斥力的作用小于彼此原子核与电子云之间的吸引力作用，故整个合力表现为引力的作用。假设以能量的角度来看，这种原子与原子之间的距离与彼此之间能量的大小也可从Lennard Jones的公式中到另一种印证。,从公式中知道，当 r 降低到某一程度时其能量为+E，也代表了在空间中两个原子是相当接近且能量为正值，假设假设 r 增加到某一程度时，其能量就会为-E同时也说明白空间中两个原子之间距离相当远的且能量为负值。不管从空间上去看两个原子之间的距离与其所导致的吸引力和斥力或是从当中能量的关系来看，原子力显微镜就是利用原子之间微妙的关系来把原子样子给呈现出来。,：原子的直径,r：原子之间的距离,AFM工作过程,原子力显微镜的根本原理是：将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品外表轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品外表原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫描时掌握这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品外表原子间作用力的等位面而在垂直于样品的外表方向起伏运动。利用光学检测法或隧道电流检测法，可测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化，从而可以获得样品外表的形貌。,获得样品外表形貌是通过检测微悬梁位置的变化而实现的。检测微悬梁位置变化的主要有：隧道电流法和激光检测法。,AFM探针的针尖,隧道电流法：,是基于STM原理实现的。可将微悬梁看成样品，在微悬梁上还有一微小探针接触。微悬梁和探针间施、加一偏置电压，他们之间便产生了隧道电流。当微悬梁由于和样品间的原子间力的作用而位置发生转变，那么他和探针之间的位置也发生相应的变化，导致隧道电流发生指数级的变化，那么测量原理就变成了STM的测量原理了。,激光检测法,二极管激光器发出的激光束经过光学系统聚焦在微悬臂反面，并从微悬臂反面反射到由光电二极管构成的光斑位置检测器。在样品扫描时，由于样品外表的原子与微悬臂探针尖端的原子间的相互作用力，微悬臂将随样品外表形貌而弯曲起伏，反射光束也将随之偏移，因而，通过光电二极管检测光斑位置的变化，就能获得被测样品外表形貌的信息。目前的AFM都是承受这种检测模式。,激光检测AFM根本原理图,检测激光光斑位置的光电二极管,AFM的硬件构造,力检测系统,在AFM的系统中，所要检测的力是原子与原子之间的范德华力。所以在本系统中是使用微小悬臂来检测原子之间力的变化量。这微小悬臂有肯定的规格，例如：长度、宽度、弹性系数以及针尖的外形，而这些规格的选择是依照样品的特性，以及操作模式的不同，而选择不同类型的探针。,位置检测局部：在AFM的系统中，当针尖与样品之间有了交互作用之后，会使得悬臂摇摆，所以当激光照射在悬臂的末端时，其反射光的位置也会由于悬臂摇摆而有所转变，这就造成偏移量的产生。在整个系统中是依靠激光光斑位置检测器将偏移量记录下并转换成电的信号，以供SPM掌握器作信号处理。,反响系统：在AFM的系统中，将信号经由激光检测器取入之后，在反响系统中会将此信号当作反响信号，作为内部的调整信号，并驱使通常由压电陶瓷管制作的扫描器做适当的移动，以保持样品与针尖保持适宜的作用力。,AFM便是结合以上三个局部来将样品的外表特性呈现出来的：在AFM的系统中，使用微小悬臂来感测针尖与样品之间的交互作用，这作用力会使微悬梁摇摆，再利用激光将光照射在微悬梁的末端，当摇摆形成时，会使反射光的位置转变而造成偏移量，此时激光检测器会记录此偏移量，也会把此时的信号给反响系统，以利于系统做适当的调整，最终再将样品的外表特性以影像的方式给呈现出来。,AFM的几种工作模式,接触模式：,微悬臂探针紧压样品外表，检测时与样品保持接触，作用力斥力通过微悬臂的变形进展测量。,该模式下，针尖与样品外表相接触，区分率高，但成像时针尖对样品的作用力较大，适合外表构造稳定的样品。,小扣模式：,用处于共振状态、上下振荡的微悬臂探针对样品外表进展扫描，样品外表起伏使微悬臂探针的振幅产生相应变化，从而得到样品的外表形貌。,该模式下，扫描成像时针尖对样品进展“敲击”，两者间只有瞬间接触，能有效抑制接触模式下因针尖的作用力，尤其是横向力引起的样品损伤，适合于松软或吸附样品的检测。,相位移模式 作为小扣模式的一项重要扩展技术，相移模式(相位移模式)通过检测驱动微悬臂探针振动的信号源的相位角与微悬臂探针实际振动的相位角之差即两者的相移的变化来成像。,引起该相移的因素很多，如样品的组分、硬度、粘弹性质等。因此利用相移模式(相位移模式)，可以在纳米尺度上获得样品外表局域性质的丰富信息。迄今相移模式(相位移模式)已成为原子力显微镜的一种重要检测技术。,AFM的应用,小尺寸样品的观看：,适用于观看原子级样品，DNA分子等，在纳米材料科学、分子生物学、仿生学等争论领域有广泛争论。,原子力显微镜对金的观测,烟草花叶病毒扫描图,沉积于云母片上的抗体分子的 AFM成像,纳米加工：,利用AFM可以对样品进展外表原子搬运，原子蚀刻，从而制造纳米器件。,用AFM针尖移动Si原子形成的IBM文字,STM针尖移动原子形成的图形文字,The End,