单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,TOEA,光電製程丶芈導體製程,設備供應鏈與技術研發地圖,TOEA,1,TOEA,光電製程:1.TFT-Array段(1),板受入前洗淨湶,洗淨設備,踐鍍機件防著板,PEP1 Dense Cleaner,Photo,Pre-Depo Cleaner,技鼎,A蝕刻機鋁触刻禄,式触刻機,列車武,帆宣(擬開發),Total Pitch,CD Overlay量測機,回火機,CD OVE,Particle Counter,CDOL Measurement,技鼎,能麒,资騰,杠宇代表該設備響租件自國外代理或口,TOEA,2,TOEA,1.TFT-Array段(2),雷射修補機,雷射CvD修補機,傅機取片,CVD,Laser r,Laser cvd,排片/排序榜,均素、沛鑫,旭束朋,均豪、盟立,反射率量,怏測機,Sheet Resist/,TEG,Sheet Resistance,银朋美,巨量檢測機,Surface Profile,孚檢測機/覺檢,Macro/Micro,均泵高僑,大銀、宏瀨,晶彩、由田,大銀、音騰,杠宇代表該設備響租件自國外代理或口,TOEA,3,1.TFT-Aray段(3)-周邊設備或其他,壓電漿清深設備,堆蛋式解包設備,巨截自動光,機零件,乾蝕刻,Plasma Clean,Dense Unpack,AOI System,由田,良率管理系锍,真空 chamber銲按,自動傅送系锍,Automatic Transfer,亞智(擬開,漢泰(擬開發,输送帶,拍照機,離子雲倌入機,BCEAP,Convey,Review,oping System,羽冠,羽冠(擬開發,机宣,杠宇代表該設備響租件自國外代理或口,1.TFT-Aray段(3)-周邊設備或其他,4,1 TFT-Array段(4)零組件供應,澆珠螺稈,防菩板銅板,铝两板,熟器,Ball Screw,Backing Plate,(for CVD,干附,千附,重板及網板,擰散板,EUV172光源,EUV Excimer Lamp,附,G.Motor,線性馬幸,泉性滑轨,Linear moto,Linear Guideway,宇代表該設備、響粗件自國外代理或進口,1 TFT-Array段(4)零組件供應,5,TOEA,2.TFT-Ce-FEOL段(1),P前洗淨設償,P|轉高機,P烤煜/P烤爐,P轉高後檢查機,Pre-PI Cleaner,PI Inspection System,能麒,Rubbing Machine,CURE OVEN,智向友,波晶脫泡機,膠脫泡機,框膠塗佈機,C/F Anneal oven,Seal Dispenser,巩宣(擬開發),杠宇代表該設備響租件自國外代理或口,TOEA,6,TOEA,2.TFT-Ce-FEOL段(2),液晶注入機,Spacer Prebake,帆宣帆宣(擬開强),晶彩(開發),晶彩,m Panel,UV Cure,旭束,志聖,帆直(開發,框膠硬烤爐,大基板貼合後,Photo Spac,框膠塗佈機,Seal Main Cure oven,工檢查機,Seal Dispenser,Photo Space,陽程,巩宣(擬開發),沛鑫旭車、蓟友,帆宜陽程(擬開發,杠宇代表該設備響租件自國外代理或口,TOEA,7,TOEA,2.TFT-Ce-FEOL段(3),光阻塗佈,影機,帆宜,宇代表該設備、響粗件自國外代理或進口,TOEA,8,半导体制程设备供应链及研发图表课件,9,半导体制程设备供应链及研发图表课件,10,半导体制程设备供应链及研发图表课件,11,半导体制程设备供应链及研发图表课件,12,半导体制程设备供应链及研发图表课件,13,半导体制程设备供应链及研发图表课件,14,半导体制程设备供应链及研发图表课件,15,半导体制程设备供应链及研发图表课件,16,半导体制程设备供应链及研发图表课件,17,半导体制程设备供应链及研发图表课件,18,半导体制程设备供应链及研发图表课件,19,半导体制程设备供应链及研发图表课件,20,半导体制程设备供应链及研发图表课件,21,半导体制程设备供应链及研发图表课件,22,半导体制程设备供应链及研发图表课件,23,半导体制程设备供应链及研发图表课件,24,半导体制程设备供应链及研发图表课件,25,半导体制程设备供应链及研发图表课件,26,半导体制程设备供应链及研发图表课件,27,半导体制程设备供应链及研发图表课件,28,半导体制程设备供应链及研发图表课件,29,半导体制程设备供应链及研发图表课件,30,半导体制程设备供应链及研发图表课件,31,半导体制程设备供应链及研发图表课件,32,半导体制程设备供应链及研发图表课件,33,半导体制程设备供应链及研发图表课件,34,半导体制程设备供应链及研发图表课件,35,半导体制程设备供应链及研发图表课件,36,半导体制程设备供应链及研发图表课件,37,半导体制程设备供应链及研发图表课件,38,半导体制程设备供应链及研发图表课件,39,半导体制程设备供应链及研发图表课件,40,半导体制程设备供应链及研发图表课件,41,半导体制程设备供应链及研发图表课件,42,半导体制程设备供应链及研发图表课件,43,半导体制程设备供应链及研发图表课件,44,