单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,*,扫描探针显微镜探针的制造,李振 15723745,The fabrication of SPM probe,扫描探针显微镜探针的制造李振 15723745The fab,SPM,探针,探针是SPM中最关键的部件。不同的探针能够测量样本不同的特性。探针还决定了显微镜的分辨率,最常见的探针结构是悬臂结构,SPM探针探针是SPM中最关键的部件。不同的探针能够测量样本,悬臂结构,悬臂结构,SPM探针,SPM探针,探针的分类,通过使用不同的材料，探针可以测量样本的不同特性,磁性探针MFM 光学探针NSOM,静电力探针EFM 热力学探针STHM,电容探针SCM 电子探针STM,探针的分类通过使用不同的材料，探针可以测量样本的不同特性,悬臂结构,结构：探针针尖和悬臂梁,材料：硅、氮化硅,方法：光刻加工,主要形式：V型悬臂（垂直方向弹性好，侧向刚度高）,V型悬臂,悬臂结构结构：探针针尖和悬臂梁V型悬臂,悬臂结构,悬臂结构,探针制造的考虑因素,探针针尖,悬臂梁,尖端锐度,探针深长宽比,导电性,耐磨损性,弹性系数,谐振频率,固有弯曲,表面粗糙度,探针制造的考虑因素探针针尖 悬臂梁尖端锐度弹性系数,传统制作方法,扫描隧道显微镜探针针尖的制作,将钨丝擦拭干净，固定并插入液面中心。,通直流电,溶液的表面张力使钨丝周围围成弯液面。液面出的钨丝反应速率最快，从而形成了尖。,传统制作方法扫描隧道显微镜探针针尖的制作将钨丝擦拭干净，固定,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,硅探针制造工艺,底切针尖,特点,应用,高长宽比,锐度高,悬臂厚度可调,硅晶片整体设计,拆卸简单,普,遍适用于各种SPM（接触式，非接触式，特殊SPM）,底切针尖特点高长宽比 普遍适用于各种SPM（接触式,角尖针尖,Conner tips,带有侧壁的拐角结构的刻蚀,侧壁保护作用,各向异性硅腐蚀,特点：尖角位于悬臂梁自由端,角尖针尖Conner tips带有侧壁的拐角结构的刻蚀,角尖针尖,角尖针尖,