单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,*,无源光MEMS器件应用,李振 15723745,Passive optical device application,典型元件,反射镜,衍射光闸,光传输线,主要应用,匹配WDM系统的微光纤器件,微型的医疗器具光纤内窥镜,图像投射显示,光,MEMS,通信器件,可变光衰减器(,VOA,),静电力可调型倾斜镜,SOI智能材料加工DIRE深反响离子刻蚀,光,MEMS,通信器件,可变光衰减器(,VOA,),直径：6mm 厚度：30um,单晶硅抗扭梁：1.5um宽 150um长,工作电压：5V,将信号调整为40dB或更高,抗静电和温度干扰,机械稳定性,光,MEMS,通信器件,可变光衰减器(,VOA,),实现光网络的关键件,广泛应用在光纤网络系统中,光MEMS医疗器件,光纤内窥镜,单模光纤传输信号静电处理,光伏电池,全光路内窥镜,光,MEMS,医疗器件,光纤内窥镜,避开降低了漏电现象的危急,避开了电磁干扰,光,MEMS,医疗器件,OCT系统光学相干层析成像,直线扫描组织图像,组织横断图像重组,手指皮肤2D横断面图(1mm),光MEMS医疗器件,手指皮肤2D横断面图(1,mm,),光学相干层析成像是一种新的三维层析成像技术。OCT基于低相干干预原理获得深度方向的层析力量，通过扫描可以重构诞生物组织或材料内部构造的二维或三维图像，其信号比照度源于生物组织或材料内部光学反射散射特性的空间变化。,光学相干层析成像(,OCT,),非接触,非侵入,成像速度快实时动态成像,探测灵敏度高,光MEMS显示器件,图像投射显示,内部常平支架高谐振频率,外构架和曲折悬挂架准静态,水平方向高频响应/垂直方向低频响应,高区分率图像,强度调制激光源,光MEMS显示器件,图像投射显示,双压电晶片,压电薄膜硅悬臂梁,光MEMS显示器件,图像投射显示,全彩显示,VGA,移动端显示应用,光MEM显示器件,光MEMS器件,机械,光学,电子,微制造技术,光MEMS系统,